Sala limpia

Con el rápido desarrollo de la ciencia y la tecnología, los chips semiconductores se han convertido en uno de los componentes principales de los productos electrónicos modernos. Con el fin de garantizar la calidad y la eficiencia de producción de los chips semiconductores, la construcción de salas limpias se ha convertido en crucial. Hay altos requisitos para la calidad del aire del ambiente de producción, y la calidad del aire está relacionada con la tasa de rendimiento y la calidad del producto. Muchas industrias de semiconductores requieren salas limpias.

Limpieza de semiconductoresrPrincipio de igualdad de trato

La sala limpia es una habitación especialmente diseñada que excluye partículas de polvo, gases nocivos, bacterias y otros contaminantes del aire dentro de un cierto espacio, y controla la temperatura interior, la limpieza, la presión interior, la velocidad del flujo de aire y la distribución, la vibración del ruido, la iluminación y la electricidad estática dentro de un cierto rango requerido. En otras palabras, las partículas de polvo en esta habitación controlada son bastante raras.

Ventajas de la tecnología de salas limpias

El proceso de fabricación de semiconductores tiene requisitos muy altos y es muy sensible a entornos polvorientos. La tecnología de las salas limpias puede lograr un buen control ambiental y un filtrado eficaz, haciendo que el proceso de fabricación esté libre de contaminación o con una contaminación extremadamente baja. Esto ofrece posibilidades ilimitpara procesos de fabricación de semiconductores de alta calidad y alta eficiencia.

En el proceso de fabricación de productos semiconductores modernos, las principales ventajas de la tecnología de salas limpias incluyen:

1. Mejorar la eficiencia de producción: una serie de factores como la temperatura, la humedad y la presión del aire se pueden controlar en la sala limpia para regular mejor el entorno de fabricación, mejorando así la eficiencia de producción.

2. Reducir la tasa de contaminación del producto: las partículas en el aire de la sala limpia se filtran finamente, con menos contaminación, reduciendo así la tasa de contaminación del producto.

3. Mejorar la calidad del producto: limpio La tecnología de la habitación puede controlar el entorno de fabricación y mantener una temperatura y humedad relativamente constantes, mejorando así la calidad del producto.

4. Reducir los costes de producción: mediante la tecnología de sala limpia, se puede reducir la tasa de daños de los productos y mejorar la calidad de los mismos. Al mismo tiempo, también reduce los costos de producción

Limpieza del aire

Los estándares de limpieza de las salas blancas de materiales semiconductores se dividen principalmente en varios niveles, de alto a bajo: clase 100, clase 1000, clase 10000 y clase 100000. Entre ellos, la norma de limpieza de la clase 100 es la m ã ¡S alta y los requisitos son muy estrictos, mientras que la norma de limpieza de la clase 10000 es relativamente floja.

El est ã ¡Ndar de la limpieza de la clase 100 es el nivel m ã ¡S alto de los requisitos de la limpieza adentroSalas limpias de materiales semiconductores. A este nivel, se requiere que la concentración de partículas en el aire sea muy baja, y el número total de partículas con un tamaño de partícula igual o mayor a 0,5 μm por pulgada cúbde aire no excederá de 100. Además, los requisitos para los microorganismos también son muy estrictos, exigiendo que no haya microorganismos en absoluto.

La norma de limpieza Class 1000 requiere que la concentración de partículas en el aire no exceda las 1000 partículas de polvo mayores o iguales a 0.5μm por metro cúbico. Los requisitos para los microorganismos son relativamente bajos y se permite la existencia de un cierto número de microorganismos.

La norma de limpieza clase 10000 requiere que la concentración de partículas en el aire no exceda de 10.000 por metro cúbico. Los requisitos para los microorganismos son relativamente flojos, y se permite la existencia de un cierto número de microorganismos.

La norma de nivel de limpieza de 100.000 es el nivel más bajo de exigencia de limpieza en las salas blancas de materiales semiconductores. A este nivel, la concentración de partículas en el aire no debe superar los 100.000 por metro cúbico. Los requisitos para los microorganismos son relativamente flojos, y se permite un cierto número de microorganismos.

Efectos de la humedad en las salas blancas

1. El crecimiento bacteribacteriana

2. El rango de temperatura ambiente que los trabajadores se sientan cómodos 

3. La aparición de la carga estática

4. Corrosión de metales

5. Condensación de vapor de agua

6. Degradación de fotolitografía

7. Absorción de agua

La fabricación de semiconductores también tiene requisitos muy estrictos para el control de temperatura y humedad. En general, la temperatura en una sala limpia se controla entre 20-24 grados Celsius y la humedad entre 30-60%. El control de temperatura y humedad tiene un impacto importante en el rendimiento y la fiabilidad del chip.

Las bacterias y otros contaminantes biológicos (moho, virus, hongos, ácaros) pueden reproducirse activamente en un ambiente con una humedad relativa de más del 60%. La humedad debe ser controlada entre 40% y 60% para minimizar el impacto de las bacterias y las infecciones respiratorias, que también es el rango moderado para el confort humano.

Puntos clave del diseño de talleres limpios

1. Cumplir con los requisitos del proceso de producción para el diseño arquitectónico y realizar espacio de fabricación de alto rendimiento y las instalaciones. Al diseñar el plan general, la disposición del plano y el diseño de la sección del taller limpio del proyecto de purificación, se debe tener plenamente en cuenta el uso racional del sitio y los requisitos de la producción de proceso. Al diseñar el edificio del proyecto de taller limpio de purificación, la relación entre el área limpia y su área auxiliar relacionada debe ser manejbien.

2. Realizar instalaciones que puedan operar económicamente, ahorrar energía, ser fáciles de mantener y reducir los costos de construcción. El diseño arquitectónico del taller limpio de purificación debe garantizar que el taller limpio de purificación es limpio, fácil de limpiar, evitar la contaminación interna y externa, y evitar la generación, retención y acumulación de partículas.

3. Se deben utilizar instalaciones operativas de alta confiabilidad. El diseño arquitectónico del taller de limpieza de purificación debe garantizar la operación segura del equipo del edificio, y garantizar la seguridad del personal y los bienes en caso de un accidente. La estructura principal debe tener un nivel de grado que es consistente con el nivel de equipo de proceso, tratamiento de edificios y decoración en el taller de limpieza de purificación, la durabilidad y resistencia al fuego del taller limpio, y la decoración debe ser coordinada con el nivel de equipo para hacer que la inversión dure mucho tiempo.

4. Deben realizarse instalaciones que puedan adaptarse a cambios futuros. El plano arquitectónico y la disposición espacial del taller limpio deben ser flexibles para crear condiciones para el ajuste de los procesos de producción.

El semiconductor cleanroom standard es un estándar muy importante que está directamente relacionado con el éxito de la fabricación de semiconductores. Cumpliendo estrictamente con la norma de sala limpia, podemos garantizar que la calidad del aire, la temperatura y la humedad, el control de la electricidad estática y otros aspectos del proceso de fabricación de semiconductores cumplan los requisitos, garantizando así la calidad de fabricación y el rendimiento del chip. En el futuro proceso de fabricación de semiconductores, la norma de sala limpia seguirá desempeñando un papel importante y proporcionará un fuerte apoyo para el desarrollo de la industria de semiconductores.