Normas de salas comunes para talleres de fabricación de chips en la industria de semiconductores

1. Normas de calidad de sala limpia

El grado de las salas limpias se suele dividir de acuerdo con el número y el tamaño de las partículas permitidas en el aire. ISO 14644 se utiliza generalmente a nivel internacional para la clasificación de grado. De acuerdo con esta norma,los grados de las salas blancas son de alto a bajo: ISO 1-9.

Cabe señalar que los estándares de las salas limpias pueden variar según las industrias y aplicaciones específicas. En la producción de chips semiconductores, los requisitos estándar para las salas limpias suelen ser más estrictos para garantizar que la calidad y el rendimiento de los chips producidos cumplan las expectativas.

Los grados de las salas limpias se pueden dividir en: 10 º grado > 100 º grado > Grado 1000 > 10000 grado > Grado 300000.

Las salas blancas de grado 1 se utilizan principalmente en la industria microelectrónica para la fabricación de circuitos integrados, y los requisitos de precisión para los circuitos integrados son submicron.

Las salas blancas de grado 10 se utilizan principalmente en la industria de semiconductores con un ancho de banda de menos de 2 micras.

Limpieza grado 100 es ampliamente aplicable y puede satisfacer las necesidades de limpieza de la mayoría de las industrias. Puede ser utilizado para la tecnología de fabricación aséptica en la industria farmacéutica. Esta sala limpia puede ser utilizada en cirugpara trasply fabricación de integradores, así como en tratamientos de aislamiento de pacientes que son particularmente sensibles a infecciones bacterianas.

Las salas limpias clase 1000 se utilizan principalmente para producir productos ópticos finos, y también se utilizan para probar y ensamblgiroscopios de aviones, ensamblmicrorodfinos, etc.

Las salas limpias clase 10.000 se pueden utilizar para el montaje de equipos hidráulicos o neumáticos, y en algunos casos también se utilizan en la industria de alimentos y bebidas. Además, las habitaciones limpias clase 10.000 también se utilizan ampliamente en la industria médica.

2. Consideraciones de seguridad

La decoración de las salas blancas de semiconductores debe cumplir requisitos de seguridad. En general, hay un gran número de sustancias inflamables y explosivas en las salas blancas de semiconductores, por lo que las normas nacionales de seguridad pertinentes, como la prevención de incendios y explosiones, deben observarse durante la decoración. Además, la contaminación ambiental y la salud y la seguridad del personal también deben considerarse para garantizar que los materiales de decoración cumplen con las normas nacionales y no causará daños a la salud humana.

3. Sistema de tratamiento de aire en ambientes limpios

Salas limpias para semisemiconductoresRequieren sistemas de tratamiento de aire para garantizar la limpieza del aire en el taller. El sistema de tratamiento de aire se compone principalmente de filtros de aire, sistemas de suministro de aire, sistemas de aire de retorno y sistemas de escape. Entre ellos, los filtros de aire son un componente importante que puede eliminar eficazmente partículas y microorganismos en el aire.

4. Decoración de suelos, paredes y techos

En la decoración de la sala limpia de semiconductores, la decoración de suelo, pared y techo es muy importante porque estas áreas son susceptibles a la contaminación. El suelo debe estar hecho de materiales resistentes al desgaste, antiestáticos y fáciles de limpiar, como el suelo autonivelepoxi o el suelo de plástico PVC; Las paredes y el techo deben estar hechos de materiales resistentes a la corrosión, antiestáticos y fáciles de limpiar, como el aluminio sandwich Panel, panel de acero inoxidable, muro cortina de vidrio, etc.

5. Disposición de equipos eléctricos como lámparas y enchufes

En la decoración de la sala limpia de semiconductores, también es muy importante la disposición de las lámparas y enchufes. Con el fin de evitar la entrada en el taller de contaminantes como el polvo y los microorganismos, estos dispositivos deben instalarse en el techo o por encima de la altura de la pared, seleccionando materiales antiestáticos y que no dejen caer polvo.

6. Puertas, ventanas, bancos de trabajo limpios y otras instalaciones

En la decoración de la sala limpia de semiconductores,Puertas para las salas blancas, Ventanas para las salas limpiasLos bancos de trabajo limpios y otras instalaciones también requieren una consideración especial. Las puertas y ventanas deben estar hechas de materiales con buenas propiedades de estanqueidad y fáciles de limpiar, tales como puertas y ventanas de acero inoxidable; Los bancos de trabajo limpios deben estar hechos de materiales que no dejan caer polvo, partículas de escoria, resistentes a la corrosión y fáciles de limpiar, tales como bancos de trabajo de acero inoxidable.