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El diseño de la sala limpia de semiconductores debe proteger procesos cada vez más sensibles de partículas, contaminación molecular en el aire, descarga electrostática, vibración y temperatura o humedad inestable. El desafío no es sólo lograr una prueba de clasificación; Mantiene las condiciones específicas del proceso alrededor de las herramientas mientras la fábrica opera y cambia.
Por lo tanto, una instalación escalable combina zonificación basada en el riesgo, flujo de aire flexible, materiales de la carcasa compatibles, movimiento disciplindel material y acceso al servicio que no interrumpa repetidamente la producción.
Comience con la secuencia del proceso e identifique los contaminantes que amenazan cada paso. Las operaciones de fotolitografía, deposición, grabado, limpieza, metrología, montaje y soporte no siempre requieren controles idénticos. Una clasificación única en toda la instalación puede desperdicienergía sin abordar un riesgo local molecular o electrostático.
Cree una matriz de control de contaminación para cada zona que cubra tamaños de partículas críticas, problemas de AMC, estabilidad de temperatura, humedad, ESD, relación de presión, escape y acceso de mantenimiento. Esta matriz se convierte en la base para la cobertura del techo, la estrategia de retorno del aire, los materiales superficiales y el monitoreo.
El sitio 'sSolución para salas limpias de electrónica y semiconductoresProporciona un punto de partida relevante para equipos que coordinan entornos controlados con requisitos de fabricación avanzada.
El aire limpio debe llegar al sensible proceso sin ser bloqueado por herramientas, servicios aéreos o operadores. Las altas cargas de calor pueden crear columnas verticales que perturel flujo de aire previsto. Los grandes equipos pueden crear zonas sombre, y los retornos mal colocados pueden cortar el suministro filtrado.
· dimensiones de la herramienta de mapa, conexiones de escape, liberación de calor y sobres de mantenimiento.
· coorlas las posiciones de la FFU con las áreas críticas del proceso en lugar de usar un patrón visualmente uniforme solamente.
· utilice estrategias de bajos rendimientos o de piso elevado donde apoyen la trayectoria de barrideseada.
· evaluar el flujo de aire después de cambios en el diseño de la herramienta, no sólo en la puesta en marcha inicial.
· considere el uso de CFD para bahías densamente poblo zonas locales altamente sensibles.
El control Modular de unidades individuales puede ayudar a reequilibrar el flujo de aire cuando las herramientas se mueven. unaSala limpia sistema de techo FFUTambién coordina unidades activas, paneles en blanco, luces y acceso de servicio dentro de una cuadrícula repetible.
La filtración HEPA y ULPA controlan las partículas pero no eliminan todos los contaminantes en fase gase. Los ácidos, bases, condensables, dopantes y otros contaminantes moleculares pueden requerir control de fuentes, filtración química, restricciones de materiales y monitoreo dedicado.
Revisar sell, recubrimientos, aisl, productos de limpieza y muebles para el riesgo de desgase. Separar los procesos que generan contaminantes incompatibles y gestionar la calidad del aire exterior y las vías de recirculación. El nivel aceptable debe vincularse a la sensibilidad del proceso y al método de medición, en lugar de una reivindicación genérica de sala limpia.
El control electrostático depende de algo más que el suelo. Las superficies de puesta a tierra, conductivas o disipativas, las prendas de vestir, las herramientas, la humedad y la práctica operativa forman un programa. La humedad debe equilibrar el rendimiento de la ESD con los requisitos del proceso, el riesgo de corrosión y el control de condensación.
Los acabados de paredes y techos deben ser lisos, sin derramy compatibles con productos de limpieza. Sus articulaciones y estructuras no deberían crear trampas de partículas. Cuando los cambios de equipo son frecuentes, aSistema de panel de pared extraíblePuede proporcionar un acceso controlado para el movimiento de la herramienta preservando al mismo tiempo el concepto de caja modular.
Los materiales entrantes pueden transportar partículas, fibras y residuos de embalaje. Determinan los pasos de desempaquet, de limpiar y de llevar antes de que los materiales lleguen a las zonas más limpias. Las rutas del personal deben minimizar el cruce con flujos de materiales y residuos, y el rozamiento debe ajustarse al riesgo real de la zona.
Las esclusas de aire y las cajas de paso son útiles sólo cuando su secuencia de funcionamiento es práctica. Si los tiempos de transferencia no son realistas, los operadores pueden eludir el procedimiento. Observe el volumen de producción esperado y el tamaño de los espacios de transferencia para la demanda pico, carros y contenedores.
Las instalaciones de semiconductores evolucionan rápidamente. Módulos de techo de reserva, capacidad eléctrica, utilidades y direcciones de control para expansión. Utilice paneles repetibles y módulos de cuadrícula para que se puedan realizar cambios locales con demolilimitada. Las persecuciones técnicas y el acceso al servicio deben permitir el mantenimiento desde zonas menos limpias cuando sea factible.
El control de cambio debe evaluar el flujo de aire, la presión, la carga de calor, la vibración, el escape químico y el monitoreo después de cualquier movimiento de la herramienta. El reequilibrio y la recalificación enfocada pueden ser necesarios incluso cuando los límites de la habitación no cambian.
Las pruebas deben extenderse más allá del recuento de partículas en la habitación vacía. Verifique la integridad del filtro, el volumen de flujo de aire, la presión ambiente, la estabilidad de la temperatura y la humedad, la recuperación, los controles de ESD y la supervisión AMC pertinente. La visualización del flujo de aire alrededor de herramientas críticas puede mostrar si el aire limpio alcanza el punto de uso previsto.
Capture las lecturas de referencia y las configuraciones de la herramienta para poder comparar las desviaciones futuras con un estado conocido. Los datos de tendencias deberían apoyar las investigaciones de procesos y el mantenimiento preventivo en lugar de existir sólo para la presentación de la auditoría.
No. La clasificación debe reflejar la sensibilidad del proceso. Las zonas críticas locales pueden requerir un control más estricto que los espacios de soporte o servicio.
Los filtros HEPA están diseñados para partículas. Los contaminantes moleculares generalmente requieren un control de la fuente, materiales compatibles y una filtración de fase de gas adecuada.
Pueden simplificar los movimientos controlados de herramientas y los cambios de diseño, reduciendo la demoliy el tiempo de inactividad cuando el sistema está diseñado para la extracción y el resellado repetibles.
Reevaluar después de cambios significativos en la herramienta, el escape, el techo, el aire de retorno o la disposición de las habitaciones, y en los intervalos definidos por la instalación#39; Programa de capacitación.
Un RFQ fuerte incluye la matriz de zonificación del proceso, diseño de herramientas, datos de calor y escape, clasificación de objetivos, requisitos de AMC y ESD, módulo de techo, rutas de mantenimiento y escenarios de expansión. Wiskind Cleanroom es compatible con equipos de proyecto B2B globales con capacidades modulares de cerramiento, techo, puerta, equipo y capacidades de proyecto integradas para la fabricación de electrónica y semiconductores.
Wiskind Cleanroom se especializa en el sistema de recinto de sala limpia, sistema de techo, puertas y ventanas de sala limpia y el desarrollo de productos relacionados, fabricación, ventas, consultoría y servicios.
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